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等離子清洗機

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小型真空等離子表面處理機
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  • PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機

類別：小型真空等離子表面處理機

簡介： 低溫活化表面處理設備 等離子去膠機 晶圓等離子清洗裝置 小型等離子設備

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  • 產品特點
  • 應用領域
PT-10SMT
腔體材質： 石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-300W/0-600W可調（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 10pa-300Pa
氣體路數： 雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鐘可調
功率大小：10%-100可調
內腔尺寸：直徑200×深度320mm     10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵： 飛越真空泵VRD-8（含油霧過濾器）
真空室溫度： 小于30°C

冷卻方式： 強制風冷


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