型號：PT-15S
供電電源： AC220V
工作電流： 整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率：0-300W/ 0-600W
射頻頻率： 40KHz（偏移量小于0.2KHz）
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 30Pa—100Pa
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控制： MCU自動與手動方式
清洗時間： 1-99999秒鐘可調
功率大小： 10%-100%可調

內腔尺寸： 260mm×320mm×200mm

外形尺寸： PT-15S型_580×600×480
重量： 75Kg
真空泵： 飛越 VRD-8（含油霧過濾器）
真空室溫度： 小于65°C

冷卻方式： 強制冷風

【等離子清洗機應用及原理】   

一、金屬表面去油及清潔 

      金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產生以下效果： 

  1.1灰化表面有機層 

      －表面會受到化學轟擊（氧 下圖）

 －在真空和瞬時高溫狀態下，污染物部分蒸發 

－污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出 

－紫外輻射破壞污染物 

   因為等離子處理每秒只能穿透幾個納米的厚度，所以污染層不能太厚。指紋也適用。 

1.2氧化物去除 

金屬氧化物會與處理氣體發生化學反應（下圖）

 

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘，第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時用幾種氣體進行處理。 

1.3焊接 

通常，印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合 

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

二、等離子刻蝕 

在等離子刻蝕過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相（例如在使用氟氣對硅刻蝕時，下圖）。處理氣體和基體物質被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來（例如半導體行業用鉻做覆蓋材料）。 

 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面，通過氧氣可以灰化填充混合物，同時得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時作為預處理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。 

三、刻蝕和灰化 

PTFE刻蝕 

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知，使用活躍的堿性金屬可以增強粘合能力，但是這種方法不容易掌握，同時溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護環境，還能達到更好效果。（下圖） 

        

等離子結構可以使表面最大化，同時在表面形成一個活性層，這樣塑料就能夠進行粘合、印刷操作。 

      

PTFE混合物的刻蝕 

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細地進行，以免填充物被過度暴露，從而削弱粘合力。

     

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣。可以應用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔 

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。同時，玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會損害樣品。同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。 

·           不需要用溶劑進行預處理 

·           所有的塑料都能應用 

·           具有環保意義 

·           占用很小工作空間 

·           成本低廉 

等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗證，處理過的樣品表面完全被水潤濕。長時間的等離子處理（大于15分鐘），材料表面不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表面具有潤濕能力。常用的處理氣體為：空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF₄等 

五、等離子涂鍍 

聚合 

            

在涂鍍中兩種氣體同時進入反應艙，氣體在等離子環境下匯聚合。這種應用比活化和清潔的要求要嚴格一些。典型的應用是保護層的形成，應用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄，通常為幾個微米，此時表面的親和力非常好。 常用的有3種情況 

·           防水涂鍍—環己物 

·           類似PTFE材質的涂鍍---含氟處理氣體 

·           親水涂鍍---乙烯醋酸 

小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點， 與動輒十幾萬美元的大型產品相比小型等離子清潔小型機具有以下優點: 

1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。 

2、不會對人員的身體造成任何傷害。 

3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。 

小型等離子設備廣泛應用于等離子清洗和表面改性等場合。通過其處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。 

其具體應用包括： 

1、塑料、玻璃和陶瓷表面活化 

玻璃、陶瓷和塑料（如聚丙烯、PTFE等）基本上是沒有極性的，因此這些材料在進行粘合、油漆和涂覆之前要進行表面活化處理。 

2、金屬去油及清潔 

金屬表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 

       焊接操作前：通常印刷線路板在焊接前要用化學助焊劑處理。在焊接完成后這些化學物質必須采用等離子方法去除，否則會帶來腐蝕等問題。 

        鍵合操作前：好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時的殘留物削弱，這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時氧化層對鍵合的質量也是有害的，也需要進行等離子清潔。

  特 點： 

·     操作簡便、成本低廉

·     高效真空電極 

·     氣體流量通過流量計和針閥實現精確控制  

·     功率可在200W以內調節控制（完全能夠能夠滿足清潔需要，200W以上功率用于刻蝕） 

·     自動阻抗匹配 

·     自由設置參數：處理時間、功率、氣體、壓力 

·     安全保護功能：真空觸發、艙門鎖

【等離子清洗器應用方式】

 

1. 等離子清洗

    · 常規的清洗方法不能完全將材料表面薄膜去除，而會留下一層很薄的雜質層，而且溶劑清洗就是這類典型例子。

    · 等離子清洗器使用就是通過等離子體對材料表面的轟擊，輕柔地和完全地對表面擦洗。

    ·等離子清洗將除去不可見的油膜、微小的銹跡和其它由于用戶接觸室外暴露等等在表面形成的這類污物，而且，等離子清洗不會在表面留下殘余物。

    · 等離子清洗器能夠處理多種類型材料：包括塑料、金屬、陶瓷以及幾何形狀各異的表面。

    ·  等離子清洗器的優點在于它不但能清洗掉表面的污物，而且還能增強材料表面的粘附性能。

 2. 聚合物清洗

  ①  聚合物的表面清洗

    ·  等離子消融作用通過高能的電子和離子對材料表面的轟擊，機械地去除污物層。

    ·  等離子表面清洗可去除可能存在于某些加工過的聚合物的污物層，不需要的聚合物表面涂層和弱的邊界層

  ②  聚合物的表面重組

    ·  等離子消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學鍵從而導致聚合物表面自由官能團的形成。

    ·  聚合物表面的自由官能團重新成鍵形成原始的聚合物結構，也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團成鍵，或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團成鏈。

    ·  聚合物表面結構重組能夠改進表面的硬度和化學抗性。

              ③  聚合物的表面改性

        ·  等離子消融作用破壞了聚合物表面的化學鍵，從而導致聚合物表面 自由官能團的形成。

        ·  基于等離子過程氣體的化學性質，這些表面自由官能團與等離子中原子或化學基的連接形成了新的聚合物功能組，代替舊的表面聚合物功能組。

        ·  聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學性質，而材料整體性質不會改變。

   ④ 聚合物的表面鍍膜

  ·  等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。

    ·  如果被使用的生產氣體由復合分子組成，如：甲烷、四氟化物、碳，那么他們在等離子態將破裂，形成自由的官能單體，這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。

        ·  這種聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。

    ⒊  生物材料

      ①. 消毒、殺菌：

        ·  等離子消毒處理在醫療設備的消毒殺菌上得到了許多認可。

        ·  等離子處理在醫療器具的同步清洗和消毒上有很大潛力。

        ·  等離子消毒殺菌特別適用于對高溫、化學物質、照射、過敏的醫學器具或牙科移植物及設備的清洗。

      ②. 粘附力的提高

        ·  很多生物材料的介質表面能量很低，使它很難有效地進行粘附和涂層。

        ·  等離子表面活化導致表面功能組的形成，這些功能組將加強生物材料表面能量和改善界面的粘附力。

      ③. 浸潤性

        ·  大多數未處理的生物材料具有很弱的濕潤性 (親水性) 。

        ·  等離子表面處理可以增加或減少多種不同的生物材料的親水性。

        ·  通過等離子活化可使表面親水，通過等離子鍍膜，可使表面憎水。

      ④. 低摩擦力和阻礙層

        ·  一些材料對酯和聚合物表面的磨擦系數很高，如聚氨基甲酸酯。

        ·  等離子涂層具有很小的摩擦系數，使生物材料表面變得更光滑。

        ·  等離子涂層也能形成一個較密的阻礙層，來減少液體或氣體對生物材料的滲透性。

?低溫等離子表面處理技術在許多工藝前進行，且能達到事半功倍的效果，這其中應用較多的工藝有：粘接預處理、印刷預處理、綁定預處理、焊接預處理、封裝預處理等。根據本身的特性又較多的應用于：清洗肉眼看不的灰塵，殘膠，氧化物，積碳等等，使材料表面粗化，激活，親水性增強等。

電子行業

Led支架、晶圓、IC等的清潔和焊接性增強處理；電子元器件的綁定性增強，PCB和陶瓷基板的激活處理等。

包裝行業

PET、PP、OPP、UV、紙盒或果醬瓶粘膠前的表面處理，大大降低膠水的使用成本。

印刷行業

金屬、玻璃、橡膠、塑料、復合材料等表面絲印、移印前等離子處理，可大大提高油墨的附著力。
標簽、果醬瓶、金屬容器、電纜光纖噴碼前等離子預處理增加其綁定性。

汽車行業

車燈粘接,鍍鋁,注塑,預處理;剎車片、點火線圈、引擎控制蓋、保險杠等可經過等離子清洗技術得到清洗和
激活,使其綁定性更加牢靠。
車身及零部件的噴漆，鍍膜預處理等

塑料行業

塑料與橡膠、金屬、玻璃等的粘接預處理，經過等離子清洗可大大提高表面活性。
玩具，手機殼，電腦殼，文具殼等噴漆前預處理，可提高油墨的附著性。

其他行業

手機，生物，航空，軍事，醫學，器械，電鍍，微電子等等

真空等離子清洗機:

一、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率；

二、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題； 三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在全球高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；
四、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達到。因此這種裝置的設備成本不高，加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機溶劑，這使得整體成本要低于傳統的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生；
八、等離子體清洗可以不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的