在等離子體中除了氣體分子、離子和電子外，還存在受到能量激勵狀態的電中性的原子或原子團（又成自由基），以及等離子體發射出的光線，其中波的長短、能量的高低在等離子體與物質表面相互作用時有著重要作用。

　　原子團等自由基與物體表面的反應   
　　由于這些自由基呈電重型，存在壽命較長，而且在離子體中的數量多于離子，因此自由基在等離子體中發揮著重要作用，自由基的作用主要表現在化學反應過程中能量傳遞的"活化"作用，處于激發狀態的自由基具有較高的能量，因此易于與物體表面分子結合時會形成新的自由基，新形成的自由基同樣處于不穩定的高能量狀態，很可能發生分解反應，在變成較小分子同時生成新的自由基，這種反應過程還可能繼續進行下去，最后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。在另一些情況下，自由基與物體表面分子結合的同時，會釋放出大量的結合能，這種能量又成為引發新的表面反應推動力，從而引發物體表面上的物質發生化學反應而被去除。

　　電子與物體表面的作用   
　　一方面電子對物體表面的撞擊作用，可促使吸附在物體表面的氣體分子發生分解和解吸，另一方面大量的電子撞擊有利引起化學反應。由于電子質量極小，因此比離子的移動速度要快的多，當進行等離子體處理時，電子要比離子更早達到物體表面，并使表面帶有負電荷，這有利于引發進一步反應。  

　　離子與物體表面的作用   
　　通常指的是帶正電荷的陽離子的作用，陽離子有加速沖向帶負電荷表面的傾向，此時使物體表面獲得相當大的動能，足以撞擊去除表面上附著的顆粒性物質，我們在這種現象稱為濺射現象，而通過離子的沖擊作用可極大促進物體表面化學反應發生的幾率。
 
　　紫外性與物體表面的反應   
　　紫外性具有很強的光能，可使附著在物體表面物質的分子鍵發生斷裂而分解，而且紫外線具有很強的穿透能力，可透過物體的表面深入達數微米而產生作用。 綜上所述，可知等離子清洗是利用等離子體內的各種具有高能量的物質和活化作用，將附著在物體表面的污垢徹底剝離去除。